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無(wú)塵室的特性
日期：2025-04-27 09:57
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摘要：
無(wú)塵室的特性為以下五項(xiàng)：
(l)耐久性；(2)成本； (3)適應(yīng)性； (4)可維護(hù)性；(5)清洗 。
(1) 耐久性:
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
(2) 清洗:
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或**的污染之特性。在 biotech 市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)*重要的企業(yè)。
(3) 成本:
微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。 許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
(4) 適應(yīng)性:
一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆**，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招**大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將*初的設(shè)計(jì)定型。
(5) 維護(hù)性:
對(duì)無(wú)塵室 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。 至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中*重要的為天花板，其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來(lái)，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說 :若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須**。
